洁净室检测之洁净度检测

   洁净度检测是无尘室性能测试的核心，气流测试、压力测试，与泄漏测试，都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响，因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕，与落尘有关的性能因素就都测试完毕，其它测试对洁净度影响不大，或是属于其它环境测试。 

 二、洁净室洁净度检测仪器 

   洁净度检测使用微粒计数器，仪器须经校正合格且仍在有效期限内，交附报告时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格，最常见的是流量 1cfm ，最小粒径可测到 0.3mm 或是 0.1mm ，单位多是立方英呎。至于应使用何种设备，要依业主的规范而定。一般在产业界，多依以下方式选择微粒计数器。

Class 1000 或更高： 0.5μm

Class 100 ： 0.3μm ，0.5um

Class 1 到 Class 10 ：0.1μm

   若是业主要求的粒径范围超过单一微粒计数器的范围，则应该使用两部微粒计数器。目前市面上少见立方公尺的微粒计数器，因此若是无尘室的洁净度是以 ISO 为基准，则要把结果作换算。单位换算，不影响上限的计算程序。    

   三、洁净室洁净度检测步骤：   

   (1) 确定空调系统之测试调整与平衡已完成，滤网之风速及泄漏测试均已完成，并已修换破损部分。 

   (2) 确认测试位置与测试点数。 

   (3) 取样时间：每点的取样时间依照等级与粒径不同而异，若取样时间小于一分钟，则以一分钟为准。 

   (4) 测试位置应均匀分布在无尘室内，避免在产生大量粒子之附近，且将检测仪器以适当之架台支撑，不可以手持支撑。 

   (5) 测量点数以公式计算（与 209E 相同）。

   四、洁净室洁净度检测验收标准： 

   洁净度的验收基准有二，首先是每点的微粒测量平均值必须低于规定值。洁净室洁净度的第二个验收基准就是，任一隔间若需使用信赖度上限分析，则该分析值也必须小于规定值。